一、誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)使用操作流程
1.進(jìn)入“主機(jī)界面”，點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“功能畫面”選擇“參數(shù)頁(yè)面”修改清洗時(shí)間或清(除)清洗數(shù)據(jù)。
2.點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“手動(dòng)頁(yè)面”將氧氣氬氣閥門設(shè)置為打開(kāi)狀態(tài)，返回主機(jī)界面。
3.誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)調(diào)節(jié)功率，功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。
4.誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)將被處理物放置等離子清洗機(jī)真空腔內(nèi)，關(guān)好腔門，按下啟動(dòng)按鈕，開(kāi)始抽真空。
5.待腔體產(chǎn)生輝光，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕添加輔助性氣體。
6.到達(dá)處理時(shí)間后，平衡閥自動(dòng)復(fù)原，3秒左右恢復(fù)常壓，無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí)，腔門自動(dòng)打開(kāi)。
7.打開(kāi)腔門，取出被處理物，一個(gè)處理過(guò)程結(jié)束。
溫馨提示：以上各命令都可在鍵下終止，回到復(fù)位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可自由調(diào)整，確認(rèn)鍵后記憶保存，斷電不丟。

二、誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)手動(dòng)狀態(tài)下運(yùn)行處理的方法：
1.crf等離子清洗機(jī)調(diào)節(jié)功率，功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。
2.將被處理物體放置到倉(cāng)內(nèi)，關(guān)好倉(cāng)門，按下啟動(dòng)鈕，開(kāi)始抽真空。
3.真空度達(dá)到要求時(shí)，按下射頻電源鈕（打開(kāi)狀態(tài)為：黃色燈亮“開(kāi)”），加入射頻高壓，處理過(guò)程開(kāi)始。
4.待腔體產(chǎn)生輝光，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，打開(kāi)氧氣氬氣閥門開(kāi)關(guān)（打開(kāi)狀態(tài)為：黃色燈亮“開(kāi)”），手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕添加輔助性氣體。
5.到達(dá)處理時(shí)間后，復(fù)原平衡閥鈕，3秒左右恢復(fù)常壓，無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí)，腔門自動(dòng)打開(kāi)。
6.打開(kāi)腔門，取出被處理物，一個(gè)處理過(guò)程結(jié)束。
溫馨提示：在手動(dòng)狀態(tài)下，可設(shè)定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開(kāi)關(guān)選擇，進(jìn)行數(shù)據(jù)工作。
三、誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)使用氣體時(shí)需注意的事項(xiàng)：
1.crf等離子清洗機(jī)在觸摸屏的手動(dòng)畫面打開(kāi)氣閥；
2.誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)腔內(nèi)激發(fā)輝光后，再扭開(kāi)流量計(jì)注入；
3.兩路氣體，機(jī)體前面板上的流量計(jì)與機(jī)體背面的氣孔口為對(duì)應(yīng)一致接入工作。