工業(yè)量產(chǎn)型真空等離子清洗機(jī)連續(xù)運(yùn)行的時(shí)間常常會(huì)在八個(gè)小時(shí)以上，在這種情況下，真空等離子清洗機(jī)的真空反應(yīng)腔室內(nèi)的所有部件，包括反應(yīng)腔本體、電極板、托架以及附件等表面溫度比較高，如果沒(méi)有相關(guān)配套的冷卻循環(huán)系統(tǒng)，取放產(chǎn)品或材料不帶隔熱手套容易被燙(傷);同時(shí)處理環(huán)境溫度過(guò)高，對(duì)于一些不耐溫的產(chǎn)品或材料，就會(huì)引發(fā)物理形變、表面變色或燒焦等現(xiàn)象，甚致影響等離子處理效(果)。那么真空等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品的散熱問(wèn)題如何解決呢?
一、真空等離子清洗機(jī)的放電原理和熱的形成
　　1. 從真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)機(jī)制來(lái)看，等離子放電的環(huán)境是在一個(gè)密閉的腔室里面，而且要維持一定的真空度，這是關(guān)鍵!氣體在低氣壓狀態(tài)下，分子間的距離會(huì)比較大，相互之間的作用力就比較脆弱;當(dāng)有電場(chǎng)、磁場(chǎng)等外來(lái)能量加速種子電子去碰撞氣體分子時(shí)，等離子體就形成了。
　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)分子和原子、基態(tài)分子和光子等組成，表面上看呈電中性，其實(shí)內(nèi)部具有很強(qiáng)的電特性、化學(xué)特性和熱效應(yīng)。
　　3. 真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的等離子體屬于非平衡等離子體，氣體溫度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于電子溫度，而且電子質(zhì)量小到可以忽略不計(jì);即便如此，電子溫度也是上萬(wàn)度，這樣的話，在等離子產(chǎn)生和滅失的過(guò)程中，通過(guò)碰撞、輻射和接合等就會(huì)形成大量的熱，很少的一部分被真空泵抽走，大部分還是留在真空反應(yīng)腔室內(nèi)。

二、真空等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品或材料的反應(yīng)機(jī)制
　　真空等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品是在低壓反應(yīng)腔室里面進(jìn)行的，基本操作流程把需要處理的物件放在托架或者是電極上面，關(guān)上反應(yīng)腔體室的門(mén);然后抽真空致設(shè)定的背底真空值，通入相應(yīng)的工藝氣體并維持真空度在20-100Pa范圍;接下來(lái)啟動(dòng)電源形成等離子體與產(chǎn)品或材料進(jìn)行物理或化學(xué)反應(yīng)，包括等離子清洗、等離子活(化)、等離子刻蝕和等離子聚合等;等整個(gè)反應(yīng)完成后，通入壓縮空氣或氮?dú)?，進(jìn)行破空，取出物件。