CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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單晶圓清洗設(shè)備為何在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中地位會提(升)?

      從全球市場銷售份額來看,單晶圓清洗設(shè)備在2008年之后超過自動清洗臺成為主要的清洗設(shè)備,而這一年正是行業(yè)引入45nm節(jié)點(diǎn)的時間。根據(jù)ITRS,2007年致2008年是45nm工藝節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)的開始。松下、英特爾、IBM、三星等紛紛于此時段開始量產(chǎn)45nm。2008年底,中芯國(際)獲得了IBM批量生產(chǎn)45納(米)工藝的授(權(quán)),成為中國首(家)向45nm邁進(jìn)的中國半導(dǎo)體公司。
      根據(jù)市場對半導(dǎo)體估計,就每月生產(chǎn)10萬片晶圓的20nm的DARM廠來說,產(chǎn)量下降1%將導(dǎo)致每年利潤減少30致50百萬美元,而邏輯芯片廠商的損失更高。此外,產(chǎn)量的降(低)還將增加廠商原本已經(jīng)十(分)高昂的資本支出。因而,工藝的優(yōu)化和控制是半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的重中之重,廠商對于半導(dǎo)體設(shè)備的要求也越來越高,清洗步驟尤其如此。在20nm及以上領(lǐng)域,清洗步驟數(shù)量超過所有工藝步驟數(shù)量的30%。而從16/14nm節(jié)點(diǎn)開始,由3D晶體管結(jié)構(gòu)、前后端更復(fù)雜的集成、EUV光刻等因素推動,工藝步驟的數(shù)量增加得很明(顯),對清洗工藝和步驟的要求也將明(顯)增加。

清洗設(shè)備

      工藝節(jié)點(diǎn)縮小擠壓良率,推動清洗設(shè)備需求提(升)。隨著工藝節(jié)點(diǎn)的不斷縮小,經(jīng)濟(jì)效益要求半導(dǎo)體公司在清潔工藝上不斷突破,提高對于清潔設(shè)備的參數(shù)要求。對于那些尋求先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)芯片生產(chǎn)方案的制造商來說,有效的無損清潔將是一個重大挑戰(zhàn),尤其是10nm、7nm甚致更小的芯片。為了擴(kuò)展摩爾定律,芯片制造商必須能夠從不僅平坦的晶圓表面除去更小的隨機(jī)缺陷,而且還要能夠適應(yīng)更復(fù)雜、更精細(xì)的3D芯片架構(gòu),以免造成損害或材料損失,從而降(低)產(chǎn)量和利潤。

      并且,在2008年前后兩個階段中,市場份額很高的清潔設(shè)備走勢均與半導(dǎo)體設(shè)備銷售額走勢保持一致,體現(xiàn)出清洗設(shè)備需求的穩(wěn)定性;并且在單晶圓清洗設(shè)備主導(dǎo)市場后,其占總體銷售額的比例明(顯)提(升),體現(xiàn)出單晶圓清洗設(shè)備和清洗工藝在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位提(升)。這一市場份額變遷是工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮小的必然性結(jié)果。



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