真空等離子清洗機(jī)實(shí)際上是一個(gè)表面處理系統(tǒng)，配置的兼容性非常重要，要想工作穩(wěn)定，每一個(gè)零部件的運(yùn)行都不能出任何差錯(cuò)。尤其是對(duì)于UPH要求很高的工廠，一旦出現(xiàn)故障，又不能夠及時(shí)排除，損失會(huì)非常大。
真空等離子清洗機(jī)常見(jiàn)的故障報(bào)警及處理方法：
1 真空等離子清洗機(jī)真空泵熱過(guò)載保護(hù)，請(qǐng)檢查線路和真空泵故障
①出現(xiàn)此情況請(qǐng)首先觀察真空等離子清洗機(jī)的系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置有無(wú)變化，真空等離子清洗機(jī)突然斷電會(huì)引起系統(tǒng)參數(shù)歸零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類報(bào)警。
②如系統(tǒng)參數(shù)無(wú)變化，請(qǐng)確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒(méi)有自動(dòng)保護(hù)，請(qǐng)檢查電氣線路有無(wú)斷路或短路情況。
③檢查導(dǎo)線是否有斷路或短路情況。
④如無(wú)上述異常，請(qǐng)檢查真空等離子清洗機(jī)的真空泵。
2 真空等離子清洗機(jī)三相供電相序異常，請(qǐng)更換相序
真空等離子清洗機(jī)有相序保護(hù)繼電器，如出現(xiàn)此類報(bào)警，請(qǐng)更換相序。
3 真空等離子清洗機(jī)一路供氣壓力過(guò)低，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啟或氣體是否耗盡
4 真空等離子清洗機(jī)二路供氣壓力過(guò)低，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啟或氣體是否耗盡
3及4是氣路控制系統(tǒng)報(bào)警，出現(xiàn)此報(bào)警請(qǐng)先檢查氣體是否打開(kāi)或耗盡。如氣體沒(méi)有問(wèn)題，請(qǐng)檢查設(shè)備減壓表、氣路電磁閥及流量計(jì)是否正常工作。檢查電氣線路是否出現(xiàn)斷路或短路。
5 真空等離子清洗機(jī)放空氣體壓力過(guò)低，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啟或氣體是否耗盡
如出現(xiàn)此類報(bào)警，請(qǐng)檢查真空等離子清洗機(jī)腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無(wú)斷路或短路。
6 真空等離子清洗機(jī)真空室門未關(guān)好，請(qǐng)關(guān)好真空室門
①在真空等離子清洗機(jī)真空腔門沒(méi)有關(guān)上的情況下，啟動(dòng)設(shè)備會(huì)出現(xiàn)此類報(bào)警，請(qǐng)關(guān)好真空門。
②如真空腔門關(guān)好出現(xiàn)此報(bào)警，請(qǐng)檢查傳感器及線路。
7 真空等離子清洗機(jī)的真空泵機(jī)械故障，請(qǐng)檢查真空泵抽空能力，故障排除點(diǎn)擊復(fù)位鍵
①所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲氣情況，真空倒計(jì)時(shí)時(shí)間設(shè)備較短，無(wú)法在設(shè)備時(shí)間內(nèi)抽到背底真空。
②真空泵故障，需檢查保養(yǎng)真空泵。
8 真空等離子清洗機(jī)真空度過(guò)高，系統(tǒng)自動(dòng)停機(jī)，請(qǐng)檢查故障，故障排除點(diǎn)擊復(fù)位鍵
①進(jìn)氣流量設(shè)置較大，無(wú)法保持真空度。
②流量計(jì)故障，無(wú)法控制流量。請(qǐng)檢查線路及流量計(jì)。
③真空腔體或管道漏氣，檢查各連接部位及腔體密封。
④檢查系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置。
9 真空等離子清洗機(jī)真空度過(guò)低，系統(tǒng)自動(dòng)停機(jī)，請(qǐng)檢查供氣是否正常
①進(jìn)氣流量設(shè)置較小，無(wú)法保持真空度。
②流量計(jì)故障：流量計(jì)出現(xiàn)堵塞或損壞。
③檢查減壓表、氣路電磁閥是否正常工作。
④檢查系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置。
10 真空等離子清洗機(jī)真空計(jì)故障報(bào)警，真空計(jì)故障或損壞，請(qǐng)檢查并更換真空計(jì)，檢查真空計(jì)是否損壞，檢查真空計(jì)控制線路是否有斷路或短路。
11 真空等離子清洗機(jī)急停未復(fù)位或已按下，請(qǐng)打開(kāi)急停開(kāi)關(guān)，檢查急停是否被按下，如沒(méi)有此情況，請(qǐng)檢查急停線路。
12 真空等離子清洗機(jī)電源故障報(bào)警
①檢查電源設(shè)備與反饋信號(hào)是否正常（萬(wàn)用表測(cè)量和檢測(cè)端子是否壓緊）。
②檢查同軸電纜及各連接線是否正常（萬(wàn)用表測(cè)量和檢查連接是否松動(dòng)）。
③查看匹配器電容初始位置是否偏移，如有偏移請(qǐng)重新設(shè)定。
④檢測(cè)電源設(shè)定是否正常，檢測(cè)匹配器的電容是否正常運(yùn)行。
以上是12種真空等離子清洗機(jī)故障報(bào)警及處理方法的相關(guān)常識(shí)知識(shí)希望對(duì)大家有所幫助。
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