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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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大氣壓放電方式下的等離子體表面處理儀可以聯(lián)合分布在整個(gè)放電空間

大氣壓放電方式下的等離子體表面處理儀可以聯(lián)合分布在整個(gè)放電空間:
        媒質(zhì)阻礙放電(DBD)是指將絕緣媒質(zhì)置于兩個(gè)金屬電極之間,以阻礙橫穿極板間空氣間隙的放電通道,使空氣間隙通道內(nèi)的放電不會(huì)產(chǎn)生電弧,而是以細(xì)絲放電的方式存在,等離子體表面處理儀便分散在其中,這種方式在實(shí)驗(yàn)室很容易實(shí)現(xiàn),并且在工業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛應(yīng)用;而在大氣壓放電方式下,發(fā)生這種情況的等離子體表面處理儀等離子體可以聯(lián)合分布在整個(gè)放電空間,因此,大氣壓輝放電也被稱為均勻方式下的媒質(zhì)阻礙放電,但在實(shí)驗(yàn)室更難實(shí)現(xiàn),而在細(xì)絲放電方式下,只要操作不當(dāng),就會(huì)變成媒質(zhì)阻礙放電。因此媒質(zhì)阻礙放電是目前適合工業(yè)生產(chǎn)的等離子體產(chǎn)生方法。

等離子體表面處理儀


       媒質(zhì)阻礙放電的底子在于增加絕緣媒質(zhì),如果沒(méi)有絕緣媒質(zhì)阻礙放電,位于極板氣隙中的帶電粒子將會(huì)以極高的遷移速度趨附在兩個(gè)極板上,從而使氣流難以吹出,而帶電粒子則會(huì)在兩個(gè)極板均覆蓋一層絕緣層后,到達(dá)絕緣媒質(zhì)表面,而不是極板表面。在兩極板上加高頻交流電源反向電壓后,由于兩板間隙中的空氣由于強(qiáng)電場(chǎng)的作用等離子體表面處理儀再次發(fā)生雪崩電離,爾后的電流立即被切斷,電流曲線顯示出尖脈沖。此時(shí),空氣中仍然存在帶電粒子,它們將繼續(xù)向兩個(gè)極板移動(dòng),并繼續(xù)移動(dòng)。這種帶電粒子就是發(fā)生在被電離之后的等離子體表面處理儀因?yàn)樗鼈円詰腋顟B(tài)存在于極板之間的空氣間隙中,所以可以很簡(jiǎn)單地把電離區(qū)吹出去。


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