在小型等離子清洗機(jī)的工作原理中，電容耦合(不銹鋼腔)和電感耦合(應(yīng)時(shí)玻璃腔)一直有兩個(gè)工作原理。這兩種工作方法有什么區(qū)別？
       容性耦合等離子體是產(chǎn)生容性耦合等離子體最早、應(yīng)用最廣泛的方法，廣泛應(yīng)用于清洗、蝕刻和表面改性。電容耦合等離子體又稱電場耦合等離子體。它的產(chǎn)生機(jī)制是在低壓條件下，在兩極板之間施加高頻電場，使氣體電離，產(chǎn)生穩(wěn)定的plasma。

       感應(yīng)耦合是感應(yīng)線圈中的交流電場，在反應(yīng)室中耦合感應(yīng)產(chǎn)生二次電場，在低壓下激發(fā)等離子體。
       外電極結(jié)構(gòu)易于實(shí)現(xiàn)電感耦合等離子體，用于等離子體清洗，可更好地解決極板濺射問題。電感耦合等離子體廣泛應(yīng)用于原子光譜分析。利用ICP光源產(chǎn)生光譜，根據(jù)物質(zhì)的特性分析物質(zhì)的化學(xué)成分、結(jié)構(gòu)和存在。
       典型的外部電極結(jié)構(gòu)是最早的電感耦合結(jié)構(gòu)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，無電極污染。但由于二次耦合，耦合效率低，等離子體均勻性差。
       平面耦合線圈可以產(chǎn)生大面積的等離子體。適用于等離子蝕刻、等離子精脫膠等高端要求較高的場合。
       由于電感線圈位于等離子體中，線圈具有良好的耦合性和高效率，但電極浸泡在等離子體中，在電場的作用下被顆粒轟擊，線圈的大小會(huì)發(fā)生變化，電極容易濺射，對清洗或蝕刻的材料有害。當(dāng)污染發(fā)生時(shí)，在使用這種結(jié)構(gòu)時(shí)，有必要在電感線圈表面包裹一層介電層。由于無線電頻率為13.56MHz，波長為22米，因此具有很強(qiáng)的穿透力。
       不銹鋼板通常由電容器耦合等離子體清洗機(jī)的反應(yīng)室(真空室)制成。電容板位于真空室。金屬盒本身屏蔽效果好，不需要單獨(dú)考慮屏蔽。
       感應(yīng)耦合真空室由應(yīng)時(shí)玻璃制成，感應(yīng)線圈安裝在真空等離子體清洗機(jī)外。如果不考慮屏蔽，在使用過程中會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的射頻電磁干擾，影響控制系統(tǒng)和其他設(shè)備的正常運(yùn)行。