Plasma清洗機(jī)采用多種工藝氣體。氧氣、氫氣、氮?dú)夂蛪嚎s空氣通常用于表面清潔和活化，但氬氣也可以根據(jù)不同的工藝要求使用。
       那么，為什么要使用這種氣體呢？它在Plasma清洗中的主要功能是什么？今天就和大家分享一下氬在真空等離子體清洗機(jī)中的應(yīng)用知識(shí)，供大家參考。
一、概述
      氬簡(jiǎn)稱(chēng)氬，英文名為Argon，化學(xué)風(fēng)格為Ar，是一種無(wú)色無(wú)味的惰性氣體。它通過(guò)高壓氣瓶運(yùn)輸和儲(chǔ)存，主要用于金屬電弧焊和工業(yè)切割保護(hù)。
      氬是一種惰性氣體。離子體電離后產(chǎn)生的離子不會(huì)與基底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在等離子體清洗中，主要用于基體表面的物理清洗和表面粗糙化。最大的特點(diǎn)是用于表面清洗。精密電子設(shè)備的表面不會(huì)氧化。正因?yàn)槿绱耍瑲宓入x子體清洗機(jī)在半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。

二、輝光放電的顏色
      真空Plasma清洗機(jī)中氬氣電離產(chǎn)生的等離子體是暗紅色的。在相同的放電環(huán)境下，氫氣和氮?dú)猱a(chǎn)生的等離子體顏色為紅色，但氬等離子體的亮度低于氮?dú)猓哂跉錃猓菀讌^(qū)分。